Sverhvysokiyv и Kuum вакуумни по-висока от 10 -8 Torr. Чл. (1 mm Hg. V. (100 N / т2). Ultra висок вакуум. Създава камери да се симулира пространство. В различни експериментални условия. И някои електронни устройства. Ultra висок вакуум. Необходимо е да се проучи физичните свойства на много чист твърда повърхност и поддържането й за достатъчно дълго време. в тази връзка, в свръхвисока вакуум. се определя като състояние на разреден газ, където нетния телесната повърхност е покрита с монослой от газ адсорбира на времето £ 100 секунди.
При много ниски налягания, по-голямата част от газа се адсорбира върху повърхността на Вакуумната апаратура, а също и в разтворено състояние в рамките на своята материал и само малка част - в евакуира обем. В постигне степен на вакуум определя от равновесие между скоростта на газ изпомпване и скоростта тя влиза в евакуира обем поради десорбция газ от стените, и изтичане отвън през микроскопичните дупки. За свръхвисока вакуум. в теч от външната страна е сведена до минимум, и устройството заедно с тялото на вакуумната камера се дегазира чрез нагряване под вакуум при температура от 300-500 ° UHV следователно обикновено корпус на вакуумната камера са изработени от плътни, заваряеми, устойчиви на корозия материали с ниско налягане на парите и лесно се дегазира при нагряване ( чаша от неръждаема стомана, кварц, керамика вакуум ;. вакуум виж материали) ..
монтажна система Билге ултраенергийните се състои от основна помпа включена след загряване и постигане на висок вакуум и спомагателни помпата работи по време на топлинна инсталация. Тъй като масата изпомпва газ в свръхвисока вакуум. е малък, ядрото се използва като сорбция, йон-сорбция и magnitorazryadnye вакуумни помпи. скорост на изпомпване, което е 10 6 л / сек (големи инсталации), и крайната вакуум на 10 -13 mm Hg. см. Понякога се използва като основни парни дюзи (пара и живачни) и турбомолекулярни помпи.
Измерване в свръхвисока вакуум. чрез електронна йонизация и разреждане габарити магнитен (см. прецени). Долната граница на налягането в първия фотоелектричния ток се определя с йон резервоар под действието на рентгеново излъчване от анода (появяващи се в своята електронно бомбардиране). Има йонизация уреди със специален дизайн, в който на фона ток се намалява. Най-широко използваните габарит Bayard - Алпърт; йон колектор в него е тънък аксиален прът, което попада само малка част от анода на рентгенови лъчи. Долна граница на измерване
10 -10 mm Hg. Чл. Модулиране на йонен ток в манометъра Баярд - Алпърт помощта на специален електрод. успяват да се измери налягането до 10 -11 тора. Чл. фон поле текущата потискане elektrichemkim допълнително електрод (подтискане) позволява да се измери дори по-ниско налягане (по-специално в комбинация с метод за модулация). Създадена е структура, в която колекторът е защитен от удря със рентгенов анод. Индексът на региона на йонизация Redheda йони се извличат чрез дупка в екрана и с помощта на рефлектор полусферична са фокусирани върху колектор тънка тел. манометър Helmer йонен поток, излизащ от отвора на екрана се отклонява на 90 ° ъгъл силата на електростатичния дефлектора и насочено към колектор. калибър Groshkovskogo колектор тънка тел е разположен срещу отвора в края на мрежата анодната и защитен от тръба стъклото на рентгенова. Описаното устройство позволява да се измери налягането до 10 -12 тора. Чл. а в някои случаи до 10 -13 тора. Чл.
Значително намаляване на долната граница на измерените налягания може да се постигне чрез увеличаване на дължината на електронен път. В удължение orbitron габарит се постига с помощта на електрическо поле, и манометър йонизация магнетронно налягане (манометър Лафърти) - използва магнитно поле. Тези инструменти могат да измерват налягането до 10 -12 до 10 -13 тора. см. Магнитно електроерозия вакуум. използва за измерване свръхвисока вакуум. Те имат редица функции: да се осигури запалване и да поддържат изпълнението на много ниско налягане, увеличаване на размера на празнината на освобождаване, увеличаване на анод напрежение (5-6 кВ) и интензивността на магнитните полета (> 1000 Ое). За да се премахне фон ток, свързани с емисиите на тунела от части катод, разположени в близост до анода, тези части са заобиколени от заземени щитове.
Partsionalnyh за измерване на налягането на газа в свръхвисока вакуум. употребявани масови спектрометри. например omegatron управление за измерване на налягането до 10 -10 тора. Чл. статичен квадруполен и други масови спектрометри -. 10 -12 -10 -13 мм живачен стълб. см.
GA Nichiporovich V. свръхвисока вакуум Bosov.
Също така, можете да научите за.
Свързани статии