UHV - газовата среда с много ниска плътност газ, налягането бодното стр <10 -6 Па. В природе С. в. наблюдается в космич. пространстве, заполненном в осн. водородом с давлением р
10 -12 Pa. В квартала на земята в с. записани при повишаване на повече от 600 km (10 -8 Ра при 1,200 км). Лабораторията. условия, постигнати подналягане стр
по-С необходимо. възниква във връзка с развитието на ускорители на частици. космически симулатори и инструменти за изследване на повърхността на твърди вещества. S. инча Необходимо е да се елиминира влиянието на околната среда газ в състояние на твърда повърхност за достатъчно дълъг период от време; напр. спестяване на състоянието на атомно чиста повърхност и проучване е възможно за един час при налягане р - (. Вакуум cm) 10 -8 Pa.
Трудности при получаване В. се дължи на факта, че количеството газ, адсорбиран върху повърхността (в стените на камерите) и на външната freestream. пространство (атмосферата), далеч надхвърля броя до Roe трябва да запълни обема под вакуум стр
10 -6 Pa. Тези трудности се увеличават с степента на разреждане е необходимо, изпомпва обем и сложност поставен там устройства.
При получаване AS инча изисква зачитане на т.нар .. вакуум хигиена при производството на елементите на устройството; прилагане на подвижни стави с металния блок. печати; загряване на системата да се разхожда T-Ри
500 ° С; използват помпи с висока скорост на изпомпване и ниска крайна налягане. Устройството не трябва да бъде материал с еластичност на пара-ryh при 500 ° С над ограничаващия подналягане naib. широко използван аустенитна неръждаема стомана. Сплит комбинирани затоплени системи трябва да имат нисък процент на течове и поддържане на висока надеждност "отопление - охлаждане" по време на повтарящи се цикли. Тези изисквания са най-добрият тип удовлетворява връзка «Conflat» (фиг. 1).
Фиг. 1. подвижен фланец връзка с метален уплътнителен материал.
Фиг. 2. Схема Турбомолекулярни помпа.
За S. С. изпомпване обикновено се изисква три нива: нисък вакуум, висок вакуум и ултра-висок вакуум. Последното е включена след нагряване под висок вакуум (10 -4 - 10 -5 Ра), всички части на системата в т ч и UHV помпи ... Тъй като последните използват помпи с помпена скорост до 10 6 л / сек. Това Турбомолекулярни, magnitorazryadnye. geternoionnye, кондензация-сорбция (криогенни) помпи. Последното се осигури най-високата крайна вакуум
10 -11 Pa. В Турбомолекулярни помпата (фиг. 2) в корпуса (1) с фиксиран диск (2) се върти ротора (3) и to-колела като колела 2 и статор имат наклонена жлеб (> 40, Фиг. 2Ь). Когато въртене на ротора газа молекули се влачат в каналите, образувани от процепите. Остатъчното налягане
10 -8 Pa. Magnitorazryadnogo действие помпа се основава на комбиниран йон помпа (йонизация и отстраняване йон електрически. Field) и абсорбцията на газ разпръсква катоден материал (в резултат на йонна бомбардировка). Поз. йони са частично вградени в катода, частично неутрализирани и падане на анод, катод зазидани разпръснати частици. Geternoionnye помпи на базата на комбинация от абсорбцията на реактивни газове с инертни газове йон помпени и въглеводороди. Криогенната помпи газът се охлажда до ниска абсорбция скорост-р повърхност.
Фиг. 3. обърнати магнетронно манометрично налягане: А - анод; Е - спомагателен електрод; Kol.- йон колектор.
C. Измерване инча първоначално извършва йонизация габарит Баярд - Алпърт, в ром газ е йонизиран от електрони, излъчвани от катод катода и йонния ток се измерва която е пропорционална на налягането. Тъй като развитието на площта на всички по-ниско налягане, тези уреди даде начин да обърнати магнетронни габарити (фиг. 3). Те измерването ултра ниско налягане газ възможно чрез използването на освобождаване Penning, възбуден между електродите в студено състояние. магнит. Потискане поле NA "паразитен" област на емисиите от повърхността на колектора, което увеличава чувствителността, осигурява помощно вещество. електрод Д. Когато анодното напрежение
6 кВ и магнезий. Поле 2 ~ 10 3 E насочена по оста на анода, изпълнява запалване и съответно в измерването на В. възникне 10 -10 Pa или по-малко при налягане.
S. уреди. освен Fundam. изследвания насочени към изучаване на атомно и електронната структура на чиста повърхност, стимулира развитието на важни научни - Techno. посоки и методи (напр. епитаксия молекулно лъч, катализа тънкослоен микроелектрониката технологии, и др.).
Литература АА Glazkov от А до С и г а н а ф GL Вакуум електро растения и комплекси, М. 1985; Уестън о п D w UHV техника, Acad. от английски език. AM 1988 IM Овчинников.
Свързани статии