Шлайфане и полиране осигури минимално грапавост на повърхността на вафли се отстранява в процеса на рязане нарушен повърхностен слой.
Чрез смилане лечение на повърхността се отнася до процеса на смилане плочи (твърдия диск на чугун, стомана, месинг, или стъкло) с абразивен шлам - Лечение свободен абразив.
В промишленото производство, най-често се използва двустранен полирането на свободен абразив. В сравнение с други методи за полиране по този метод е по-ефективно, осигурява висока точност повърхностни обработки, не изисква етикети плочи.
1 - горния инструмент смилане
2 - в долната част на инструмента смилане
3 - вафла
4 - слой от абразивен шлам
5 - отвори за получаване на суспензия
За двустранен полиране се използват водни суспензии и глицерол микропрашинки SiC (силициев карбид) B4 C или (слети). Полирането се извършва на няколко етапа, постепенно намаляване на размера на прах зърно от 28 микрона до 3 микрона.
Унищожаването на третираната повърхност се осъществява чрез подвижен абразивните зърна между повърхностите на плата и инструмента смилане. След полиране подложката се почиства от замърсители се наблюдава и предава на полирането.
Полирани плочи на меката подложка полиране. За тази цел, тъкани и нетъкани тъкани (сатен, батиста, плат, филцов, велурени и т.н.) обтегнати на конвенционален шлифовъчни и защитени. Полиране се извършва на няколко етапа, като постепенно се намалява размерът на зърното и твърдостта на абразивното, а последният етап напълно изключва абразив.
Полиране може да бъде едностранно или двустранно.
Механично полиране се извършва предварителни диамантени суспензии и пасти микропрашинки с размер на частиците от 3 микрона до 1 микрон.
Окончателно (тънък) полиране се извършва с меки полиращи състави на базата на окиси на алуминий, силиций, хром и други, с размер на частиците по-малък от 1 микрон.
Полиране по същество не се различава от смилане, като единствената разлика е приложен абразивни материали, техните полиращи зърно подложка материални и преработвателни условия. Механично полиране понякога се нарича като фино смилане.
След полиране плоча върху чиста и контролирано.
Свързани статии