разпрашаване, унищожаването на отрицателния електрод (катод) за изпускане на газ под влиянието на шоковете на положителни йони. В по-широк смисъл - унищожаване на твърдо вещество, когато е бомбардирана от заредени или неутрални частици.
К. р. От една страна, нежелателно явление, намаляване на срока на експлоатация на електронни устройства (Виж електрически вакуумни устройства.); с други. партита, К. р. има практическо приложение за третиране на повърхности, структура откриване вещество (йонно ецване), отлагане на тънки слоеве, за насочено молекулно лъч (Вж. Молекулно и атомни греди), и т.н. Засипват йони проникват по-дълбоко в целта да предизвика преместване на неговите атоми. Тези разселени атома, от своя страна, може да доведе до нов преместване и т.н. Някои от атомите в този материал достига до повърхността и излиза извън него. При определени условия, частиците могат да оставят целевата повърхност като йони (вж. Йонната емисия). В единични кристали от най-благоприятни условия за освобождаване на частиците са образувани в области, където най-високата плътност на опаковката от атоми. В тези посоки са оформени сблъсъци верига (focusons), чрез които енергията и инерцията на частиците разселени прехвърля с минимални загуби. Значителна роля в К. р. Той играе процес на йон канализиране, определя тяхната дълбочина на проникване в целта (вж. Channeling заредени частици).
К. р. E йон се наблюдава при енергии над определена стойност Е0. наречена праг К. р. E0 стойности за различните елементи варират от няколко до няколко десетки ЕГ. Количествено, К. р. характеризиращ коефициент разпрашване S. равен на броя на атоми бомбардирани от един йон. Близо S е много малък (-5 10 атома / йон) праг, и при оптимални условия S достига няколко десетки. Количеството S не зависи от налягането на газа при ниско налягане Р2 (0.1 mm Hg. V.), но когато р> 13.3 N / т2 (0,1 Torr. См.) Се намалява чрез увеличаване S броя на частиците, отложени върху задната повърхност. Големината на S повлияе на свойствата на бомбардиране йони - тяхната енергия Ei (Фиг 1.), Mi маса (фигура 2), ъгълът на падане върху целта (Фигура 3.) и свойствата на разпръсква вещество - температурата чистота повърхност, кристалната структура на масата на целевите атоми.
Ъгловата разпределението на частиците, отделяни от разпрашаване повърхност анизотропно. Това зависи от йон енергия и за единични кристали като вида на кристална решетка и структурата на лицето на спрей. Утайката от разпръсква вещество, което се образува на екрана, има формата на отделни места, с симетрията на модела на валежите е същата като симетрията на лицето на спрей и формира върху него в резултат на С стр. ецване фигури (фиг. 4). Енергия разпръснатите частици, вариращи от няколко фракции от ЕГ реда на енергията на първични йони. Средната енергията на бомбардирани частици обикновено са десетки ЕГ, в зависимост от свойствата на целевия материал и йонен лъч характеристики.
Lit:. Morgulis ND катод разпрашаване "Напредъкът на физическите науки", 1946, том 28, с.. 2-3, стр. 202; Pleshivtsev NV катод за разпрашаване, М. 1968 Камински и М. атомни йонни сблъсъци на по металната повърхност, лентата. от английски език. М. 1967 Thompson М. дефекти и радиационно увреждане на метали, транс. от английски език. М. 1971.
Фиг. 1. Зависимостта на коефициент S разпрашване цел мед чрез бомбардиране йон енергия Е.
Фиг. 2. Зависимост разпрашване коефициент S от масата на бомбардиране йони Mi (Е I = 400 ЕГ).
Фиг. 3. Зависимостта на S от ъгъла на падане на α йони бомбардират повърхността на Cu, Ta, Fe, Pt (цифри показват йон енергия).
Фиг. 4. Над - депозит формира прозрачен екран поставят успоредни повърхности напръскват Cu единичен кристал [а - (100) лицето, - лице (110), а - (111)], в долната - депресия, възникващи по този начин върху повърхностите на лицата ,
Голяма съветска енциклопедия. - М. съветски енциклопедия. 1969-1978.
Вижте това, което "катод разпрашаването" в други речници:
Cathode разпрашване - унищожаването на телевизора. телесна повърхност бомбардирани от атоми Nonae и неутрони (първи наблюдава разрушаване на катода в освобождаването на газ). Продукти за разпрашаване, атоми, Поз. и otritsat. йони и неутрони. и йонизиращо. Ал. на ... ... Физическо енциклопедия
Катод разпрашаване - пръскане материал (cm.) На газоразрядни поради положителен йон бомбардиране на катода. Заустването устройства К. стр. вредно явление. Отлагане на метал от К. р. се използва за прилагане на много тънки (една малка част от микрометър) ... ... Най-Polytechnique енциклопедия
Катод разпрашаване - унищожаване на твърдата повърхност, когато е бомбардирана от йони. Първоначално се разглежда като унищожаването на катоди на вакуумни и газоразрядни устройства. Използва се за почистване на повърхности ... академично издание на речника
разпрашаване - Получаване на материал за покритие в изпълнението катодното разпрашване газ. [ГОСТ 9,008 82] Теми покриване метал. и неметали. EN катод разпрашване DE Kathodenzerstäubung FR пулверизация cathodique ... Directory технически преводач
вил - katodinis dulkinimas statusas T sritis Физика atitikmenys: Angl. катод разпадане; катод разпрашаване; катодна разпрашване Vok. Katodenzerstäubung, е Рус. разпрашване, п; катод разпрашаване, п pranc. désagrégation де катод, F; ... ... Fizikos terminų žodynas
разпрашаване - унищожаване на твърдата повърхност, когато е бомбардирана от йони. Първоначално се разглежда като унищожаването на катоди на вакуумни и газоразрядни устройства. Използва се за почистване на повърхности. * * * Cathode разпрашване катод разпрашаване ... ... академично издание на речника
разпрашване - katodinis dulkinimas statusas T sritis chemija apibrėžtis Katodo dispergavimas elektros Lanke. atitikmenys: Angl. катод разпрашване Рус. вил ... Chemijos terminų aiškinamasis žodynas
Катод разпрашаване - ва пръскане с твърда повърхност, когато е бомбардирана от йони. Първоначално се разглежда като унищожаването на катоди на вакуумни и газоразрядни устройства. Използва се за почистване на повърхности и структура на откриване в ва (йон ... ... Big тълковен речник Политехническия
разпрашаване - [катодна разпрашаване], за да се получи тънък филм РВ покритие катод материал с газоразрядни; Вижте също: Разпрашване атомизация газ, центробежни атомизация пръскане с вода ... академично издание на речника на металургия
разпрашаване - Унищожаване на повърхностния слой на катода, когато електрически разряд поради шокове на положителни йони върху катод терминология ... политехнически речник на
- Методи за получаване и свойства на нано обекти. Учебник. Н. Минко. Ръководството описва основните методи за получаване на наночастици обекти, наночастици, наноструктури: Nanoassembly, йонно бомбардиране, ударни вълни, вакуумно изпаряване, разпрашаване, ... още купи за 288 рубли
- Методи за получаване и свойства на нано обекти. Учебник. Минко NI Ръководството описва основните методи за получаване на наночастици обекти, наночастици, наноструктури: Nanoassembly, йонно бомбардиране, ударни вълни, вакуумно изпаряване, разпрашаване, ... още купи за 226 рубли
- Методи за получаване и свойства на нано обекти. NI Минко, VV Строкова, IV Zhernovsky VM Nartsev. Ръководството описва основните методи за получаване на наночастици обекти, наночастици, наноструктури: Nanoassembly, йонно бомбардиране, ударни вълни, вакуумно изпаряване, разпрашаване, ... Прочети повече купи за 205 UAH (Украйна само)
Свързани статии