Повечето MEMS (микроелектромеханични системи, MEMS), които са широко използвани днес в различни видове сензори, използвани в автомобилите, реактивни двигатели, промишлено оборудване, домакински уреди и електронни устройства, изработени от силиций, което е защо те работят добре при висока температура на околната среда. Малко отклонение от номиналната температура или малко количество топлина входящо от външната страна, е причината, че параметрите на такива сензори, включително тяхната точност, много силно "плаващо", в някои случаи, сензори са напълно губят тяхната функционалност.

Изследователи от Университета Джон Хопкинс, вече работят за дълго време, за да реши проблема, описан по-горе. И един от предложените решения е използването на новата метална сплав тежкотоварен която позволява на датчиците към MEMS-базирани системи пребивават в диапазона на работните параметри и отговарят на високите изисквания на съществуващите и нововъзникващите технологии.

Една от областите, в които работи изследователска група Hemker Kevin (Kevin Hemker), е производството на ефективни MEMS системи на по-сложен материал от силиций, който, според изследователите, ще позволят на сензорите да бъдат по-устойчиви на резки колебания на някои фактори на околната среда , издържат на значителни механични натоварвания и електрически товари.

В основата на един от най-новите материали за MEMS-Systems се превърна в най-често срещаните никел, рафинирани до голяма степен. За да се намали коефициента на термично разширение от този метал, който в чиста форма има достатъчно висока стойност, то се въвежда молибден и волфрам добавки в определени пропорции.

Високото съдържание на сплавта се определя от нов и подредени атомна структура на кристалната решетка. И още един положителен полза е висока и стабилна електрическа проводимост, произтичащи от характера на всички метална сплав.

От като никел-молибден-волфрам сплав тънки слоеве бяха произведени с дебелина 29 микрона средно. Тестовете на филмите показват, че тази сплав има съдържание над три пъти по силата на специална легирана стомана. С тази нова сплав запазва здравината и други параметри при високо налягане и температура. С други думи, системата на MEMS-елемент, изработен от новата сплав може да работи по достатъчно широк диапазон от условия на околната среда.

информация