Изостаналост ефект в плазмено ецване на силиций

Александър Zapevalin
Пенза State University
дипломант на отдел "инструмент"

абстрактен
Статията обсъжда ефекта на забавяне възникващи в процеса на ецване плазмен химически високо Аспект канали с различни ширини. Има някои методи за свеждане до минимум на въздействието на този ефект върху процеса. Обсъжда ролята на натиск и по време на ецване цикъла / отлагане закъснение ефект.

МИГ ефекти в плазмено ецване на силиций

Zapevalin Александър Иванович
Пенза State University
Следдипломна превръщането на "инструмент" отдел

абстрактен
Статията обсъжда Lag-ефект настъпва в процеса плазмен химическо ецване високо аспектно окопи с различни ширини на. Има няколко начина да се минимизира влиянието на този ефект върху процеса. Обсъжда ролята на налягане и цикъл пъти на ецване / отлагане на Lag-ефект.

В плазмено ецване процеси, без скоростта на офорт намалява с увеличаване на съотношението аспект канали. В допълнение, намалява влиянието на йони, които достигнали дъното на жлеба, процеса на ецване се измества към по-ефективна пасивиране. В резултат на профилите са склонни да развият положителен наклон и, като правило, стената на канала в крайна сметка ще се случи, когато тяхното съотношение започва да се доближава до стойност е по-голяма от 20: 1.

Процесът на адаптация на етапи или непрекъснато рецепта [1, 2] спомага за намаляване на размера на пасивиращо процес и съхранява прав профил. Например, времето на пасивиране цикъл или потока на пасивиращ газ може да се намали линейно. Алтернативно, времето за ецване или потока цикъл на офорт газ може да се увеличи линейно.

Въпреки, че има и други възможности, включително източника на захранване, пристрастия власт, или линейна промяна в налягането. За простота и предсказуемост на промяна в баланса "отлагане-офорт" промяната във времето цикъл е най-очевиден рампата подход. Като се използва линеен параметри промени жлебове с съотношение на> 50: 1 може да бъде направено като се запазва стени права и вертикално.

Скоростта на ецване и профила на отделяне са силно зависими от съотношението на дълбочината на ширината на жлеба, така наречените съотношение. Като цяло по-офорт тесни изкопи настъпва по-бавно, отколкото в по-широки канали; т.е. жлеб с голямо съотношение на МИГ канали с по-малка пропорция.

Това отчасти се дължи на факта, че броят на йони, достигащи дъното на изкопа постепенно намалява поради ефекта на отвор, свързан с ъгловото разпределение на йони. Друг важен аспект - транспортни ограничения газообразни видове - радикали - в много издатъци каналите.

Ефектът на забавяне зависи главно от средната свободен пътя на газообразен видове, т.е. газ под налягане.

Латентност RHS е обща и добре разбрани феномен за транспортиране на плазма [3] ецване. забавяне Ефект ефект зависи главно от средната свободен пътя на газови частици, който определя тяхното транспортиране чрез ецване канали. Зависимостта от скоростта на ецване на пропорцията е изследван въз основа на прост модел вакуум проводимост [4]. Освен това, в каналите е важно взаимодействие и промяна на баланс между офорт и пасивиране на частиците по време на транспортирането. Това отново зависи от транспорта означава свободен път на частиците и в процес налягане. Ребалансинг ецване и пасивация на частиците с увеличаване на съотношението аспект също влияе на анизотропия и профил. Фигура 1 показва типичен пример РИО забавяне високо процес аспект-Bosch-ецване.

В цикличен процес с индивидуални ецване и пасивиране цикли, които могат да се контролират независимо един от друг, имат индивидуални забавяне ефекти, като офорт и за пасивиране. За етапа на ецване, по-високо съотношение на канала, на по-малко флуорни радикали за единица време може да достигне дъното на жлеба и ецване силиций. Ефектът на забавяне на офорт стъпка зависи преди всичко от налягането. За етапа на утаяване, по-високо съотношение на каналите, по-малките полимери за единица време може да достигне дъното на изкопа. По този начин, степента на офорт зависи главно от налягане, тъй като разредител филм на дъното на канала, по-голяма скорост по време на последващо ецване етап. Това включва някои намаляване компенсация скорост чрез увеличаване на пропорцията докато намаляване на доставката на флуорни радикали. Забавяне след отлагане и ецване стъпки могат взаимно компенсиране на премахването на закъснения в цялостния процес в широк диапазон от съотношения. Това може да бъде постигнато чрез отделни контролни параметри на етап на ецване и отлагане, предимно промяната в стойността налягане.

Инсталиране на високо налягане за отделен етап, че увеличава инертност; създаване налягане е по-ниско - това намалява инерцията. Увеличаването на налягането в етапа на отлагане по отношение на етапа на ецване, и дори до стойности по-високи от време на етапа на ецване, РИО намалява общата забавяне на целия процес, дори му инверсия на определен етап. Високите направления структури (например, тесен процеп) ецване по-бързо от по-ниско съотношение на жлеба (т.е. голяма разлика). Въпреки това, компенсация РИО закъснение се дължи на намаляване на скоростта на ецване по-големи вдлъбнатини. От друга страна, при налягане в етапа на утаяване е по-ниска от етап на офорт причинява значително РИО закъснение. Въпреки това, процесът обикновено се контролират, за да отдаде предпочитание на по общите равнища на ецване, в по-големи вдлъбнатини. Това е "нормално" режим на процеса, който се използва в повечето случаи на интереси и по-високи скорости.

стабилност на полимера в дъното на жлебовете е важен фактор в регулирането на значително забавяне ецване и отлаганията, обаче стойност постига компенсация също зависи от температурата на субстрата. Намаляването на температурата на субстрата в долната прави полимера по-стабилна, и увеличава стойността на общия баланс утаяване забавяне етап. Поради тази причина, температура субстрат 0 ◦ С или по-долу, вместо нормалното 40 ◦ С, за предпочитане за постигане на офорт незабавно в широк спектър на Форма фактори [5].