Концепцията за прехвърляне импеданс ZT екран S. Shchelkunov въведена през 1934 г. е много полезен параметър за прогнозиране и наблюдение на взаимодействието на електромагнитно лъчение (EMI) с кабелна екраниране на. Въпреки че все още се използва широко, този параметър само за оценка на податливостта на коаксиални кабели за EMI, може да се използва за оценка на електромагнитно излъчване на коаксиални кабели, и защитени усукана двойка (STP). В статията, този въпрос ще бъде оповестена по-подробно от диференциално съпротивление на концепциите за предаване на данни (ZTD).
В статията се модули LED интегрирани доставчик на компоненти за осветление - Фирма NeoSvet: кабели и клъстери са предназначени за осветление офиси, сгради и обществени съоръжения, улици. NeoSvet компания разработва и произвежда LED клъстери и драйвери по поръчка, взима модулите в съответствие с необходимото качество на осветление.
В статията се основните характеристики, дизайн функции и приложения модули EMI (електромагнитни смущения) филтри фирми SynQor по граждански и военни приложения. Засегнати от класирането на електромагнитни смущения (EMI) и начини за защита на радиоелектронно оборудване на аномалиите на електрическата мрежа.
Статията представя преглед на основните изисквания за photomasks проектните fiducials и следователно субстрати fiducials използвани в методи за автоматично изравняване на пример EVGroup системи (EVG).
системи, съчетаващи компания EVG (вж. Фигура 1) се прилагат две системи зрението. Работата на един от тях се базира на разпознаване на образи от разликата между контраста на обектите, а другият - за признаване модел на вектор модел обекти.
Качеството и повторяемостта на процеса на комбиниране на най-засегнатите от следните фактори:
- конфигурация на fiducials;
- контраст и изображение фокусиране маска и субстрата;
- повторяем модел;
- видимост на субстрата чрез photomask.
Комбинацията от тези фактори зависи от самата възможност за автоматично подравняване, както и неговата скорост и точност.
Фиг. 1. система за автоматично подравняване: а - EVG 620; б - EVG 6200; в - EVG IQ
автоматизирана система за привеждане в съответствие може да се намери областта на снимката е посочено photomask и субстрата само в случай, че тези изображения имат достатъчно контраст. С по-ниска грешката изравняване се извършва, само ако най-точното предаване на изображения в сивата скала и граници. Разбира се, визията система може да разпознае и не много точни и контрастни fiducials, но той се комбинира процес ще отнеме повече време и е по-малко точни, това ще доведе до намаляване на производителността и добив.
Очевидно е, че за да получите точно същите photomasks и субстрата не е възможно. Това е особено вярно яркостта на изображението и контраста на субстратите, причинени от дисперсия на дебелината на фоторезист депозиран. Следователно, системата визия трябва да намери изображения, които се различават помежду си в яркостта и контраста. Тази разлика не трябва да бъде прекалено голям. Човек винаги трябва да имате предвид, че най-отрицателно въздействие върху работата на системата техническа визия предвижда намаляване на контраста на изображението.
Вариация на определението на форма и модел е по-малко критична от промяната в яркостта и контраста, но тези различия да имат отрицателно влияние върху точността на автоматичното подравняване, а оттам и на производителността на системата. Говорейки за яркостта разпръсна образ и контраста той също трябва да се отбележи, че максималното изменение на тези параметри се случва, когато се използва като полирани повърхности прехода от един субстрат към друг има много силна промяна на заден план. Затова е по-добре да се избегне използването на такива субстрати в системи за автоматично подравняване. Ако това не е възможно, тогава визията система трябва да гарантира признаване на изображението, независимо от осветеността на субстрата (вж. Раздел на принципите на системите за зрението).
При провеждане на типичен процес чрез комбиниране на горната страна на субстрата в областта на оглед са едновременно окуляри и fiducials photomask и субстрат fiducials. Тя може да се случи, че подложката е затворен чрез теглене окуляри шарени фотоприспособлението, поради което може значително да намали скоростта и точността на автоматичното подравняване. За да се избегне такова наслагване, трябва да помисли за това явление в конфигурацията на дизайна на fiducials.
Когато автоматична процедура за привеждане в съответствие се извършва първите търсене маска fiducials, които на фигура 5 е разположена в горната част на прозореца. След това списъка на референтни знаци върху субстрата, който се намира в долната част. След това, привеждането в съответствие на субстрата спрямо маската, така че отправната точка на знака за привеждане в съответствие субстрат съвпада с отправна точка на марката на photomask подравняване.
Фиг. 5. Референтните знаци на photomask и субстрата след подравняване
Максимална точност подравняване може да се постигне само ако визията система вижда и двете fiducials photomask и координатните марка на основата по време на целия процес на изравняване. Ето защо за автоматичната система за изравняване се препоръчва използването компенсиране fiducials.
При такова разпределение на члена на съответната марка, която изпълнява системата за търсене визия, и точката на съвпадение, не възниква проблемът за едновременно гледане на реперни точки на субстрата и photomask дори и ако се комбинира субстрата и photomask. Следователно, системата визия по време на процеса е в състояние да видите fiducials и да направи корекции на позицията на субстрата спрямо маската, ако е необходимо.
Референтен пример маска марка с разделяне на зони е показано на Фигура 6 и Фигура 7 показва субстрат fiducials.
Когато многослойна литография за комбиниране на различни слоеве се нуждаят от различни fiducials. При използване на един единствен вид fiducials нужда, както вече бе споменато, за да се осигури минимално разстояние между тях. Само в този случай е възможно да се постигне изравняване с висока прецизност. Вие трябва да спазват този принцип, когато се работи с Matrox визия система и използване на системи Cognex зрението.
Ако структурно не се настанят на необходимия набор от fiducials в съответствие с минималното разстояние се препоръчва използването на системи Cognex наблюдение, както тя позволява да се прилага при идентифициране на функция fiducials ключови. Благодарение на тази ключова система визия може да се прави разлика между fiducials с леки характерни различия.
При използване на функцията за разпознаване на ключове fiducials търсенето се извършва на два етапа (вж. Фиг. 9).
Фиг. 9. Стъпки търсят fiducials използвайки ключовете
На първо място, признаването стане предварително обучени база на порциите, които са fiducials. Системата намира всички подходящи бижута в полето за търсене. След това той търси ключовите елементи вече са намерени fiducials. След това системата избира fiducials, която отговаря на всички посочени параметрите за търсене: линия на базовия модел, ключов елемент за съответствие. Освен процес подравняване се извършва в съответствие с избраните fiducials. Репери с различна комбинация от клавиши, показани в Таблица 3.
Таблица 3. fiducials с различна комбинация от клавиши
Свързани статии