При производството на най-често използвания метод за образуване на фаска профил диамант колело. Обработка верига плоча 1 диамант колело 2, показан на Фигура 10. По този начин, на скосяването може да бъде изработен от различни форми (фиг. 11 А-С). В практиката често образуват фаска, формата на която е показана на фиг. 11, а. По време на обработката на плочата е фиксирана на масата вакуум на машината и се завърта около оста си. Скорост на въртене на плочите 10-20 об / мин, диамант кръг 4000-10000 об / мин. колело диамант се притиска към плочата със сила на 0.4-0.7 N. колело ос на въртене се премества по отношение на оста на въртене вакуум маса, така че обработката

Фиг. 10. Схемата на фиг. 11

формиране на фаска про изпълнение Опции фаска:

philous диамант колело: и - с zakruglennnymi ръбове;

1-Ь вафла - закръглената периферията

2 - диамант колело. в - със скосени ръбове.

убождания съединение се смила при налягане 1,5-2,5 пъти по-ниски от силиций. По време на смилане плоча periodicheskipodvergayut визуална проверка и контрол на дебелината.

Заедно с двустранно смилане широк rasprestranenie получи едностранни шлифоване плочи, чиято схема е показана на Фиг. 12. плочите 2 са поставени. сепаратор 3 и натоварване 4 се притискат към смилане инструмент 1.

Фиг. Схема 12 едностранното

смилане свързани абразиви:

1 - паркет, 2 плоча 3 -sepatator,

На shlnfovalnik доставя абразивни каша. Обработката е същата като за двустранен смилане. По този начин е възможно да се кълчи дебелини на плочите. Въпреки това, между плочата и на товара може да влезе чужд ключ (абразивни частици от полупроводников материал, метални стружки, и така нататък. П.), намалява точността на обработка. Следователно - обикновено в едностранно смилане плоча е прикрепена към смилане главата.

При метода на смилане с три панти: свързване, оптичен контакт и фиксиране вакуум. Основните изисквания на закрепващи плочи са строго успоредност на плоча повърхността на смилане главата референтна повърхност, както и монтаж надеждност.

§ 7. Шлайфане плочи абразивни свободен и свързан

Основната цел на полиране на полупроводникови пластинки е да коригира грешки в тяхната геометрична форма след рязане Въпреки Нейт, че дълбочината на повредения слой след полирането е приблизително същата като тази след рязане, тя трябва да сочи към по-голяма еднородност на дълбочина от нарушенията да бъдат направени чрез смилане.

Фиг. 13. верига двустранно смилане

1 - Свързването система, 2.7 - смилане,

3.6 - вътрешни и външни съоръжения,

4 - сепаратори. 5 - плоча

Поради естеството на въздействието на абразивни шлифовъчни вафли разграничи свободен и свързан абразив. В зависимост от абразивно зърно използва, условията за преработка и качеството на получената повърхност отличават предварителен (грубо) и на финала (довършителни) шлайфане.

Шлайфане свободен абразив има редица предимства, които са причинили на мащабни индустриални използване в производството на полупроводникови пластини Obrabotanike плочи има видими следи по повърхността на абразивен директното движение, тяхната страна се различават хомогенна матов блясък. Способност samoustanavlivaniya смилане инструмент и обработени вафли подобрява геометрията на двете плочи и инструмента смилане. Когато съберете накуп плочите безплатно (без обтегач) № стрес в плочите, и намалява въздействието на производствения вибрациите на машината до грешки прецизни производствени.

Схема двустранни шлифоване плочи свободен абразив-ционни е показано на фиг. 13.Plastiny 5 се поставя в сепараторите 4, направени под формата на плочи с външен назъбване. Зъбите на сепараторите захващат зъбни колела 3 и 6. Вътрешният зъбното колело 3 има външно назъбване и външната колело 6-вътрешния. Скорости 3 и 6 се завърта на зъбните колела и завъртане сепаратора. Едновременно с това, сепараторите се разместват, оста на смилане инструмента 2, 7. центровете на отворите в сепараторите не съвпадат с центровете на самите разделителите, така че тяхната ротация плоча ангажират допълнително движение около центровете на сепаратори, насърчаване на по-равномерно обработка на пластинки и равномерно износване на инструмента смилане. Долна шлайфане инструмент 7 монтирано неподвижно върху корпуса на машината, за смилане инструмента 2 и горната свободно монтиран на преработени вафли.

Работно налягане се създава върху плаката и се прехвърля в хидравличните устройства горната шлайфане инструмент. Работно налягане безстепенно, което позволява

Фиг. 14. Формата на износване на инструмента смилане във формата на вдлъбнатини (а) или vypukls- STI (б) и неговия ефект върху формоване плочи

непрекъснат преход от грубо шлайфане на степента на завършеност. Скорост на въртене предавка също се регулира плавно, премахване на тъпаци и сътресения в начално и крайно време на машината, което е важно при обработката на полупроводници. Смилане инструмент снабден с охлаждащи и контрол на температурата системи, поддържа стабилни условия на обработка. Постоянна температура в зоната на смилане елиминира нежелана топлинна деформация на смилане инструмент, който може да намали точността на обработка, и поддържа същия вискозитет на абразивния шлам през времето, че е важно да се поддържа постоянна скорост на обработка.

§ 8. Методи на довършителните полиращи полупроводникови пластини

Полиране полупроводникови пластини за производство на структурна подземни и отстраняване на дефектни слоеве, оформени чрез рязане и смилане. Ако полиране досадник? и след химическо ецване, коригира геометрична форма дефекти плочи възникнат поради неравномерното ецване. Поради естеството на материала отстраняване разлика между механични, химични и химико-механичен полиране. ;

Механично полиране се осъществява чрез прекъсване на микроскопични частици от въздействието на абразивни зърна върху повърхността. Като абразивни прахове използва синтетични и естествени диамантени, хромен оксид, цериеви и др.

X и м и ч е С до около о о л и г о в а н е се извършва чрез потапяне на плочките в полиране ецващ. За да се гарантира по-голяма еднородност на отнемане на материал от цялата повърхност на вафлата касетата с плаките се завъртат, което води до тях непрекъснато се подава свеж ецващ (фиг. 15). Ецващ използва за полиране вафли са различни по състав. Силициеви пластини гравирани за предпочитане в смес от азотна, флуороводородна киселина и оцетна киселина, като се използват различни съотношения на компонентите. В тези смеси могат да се добавят вещества, стабилизиращи скоростта на ецване или катализира му реакция. Съединения A3B5 често гравиран във водни разтвори на водороден прекис и киселина като сярна, флуороводородна, бромоводородна и др. Освен това, полиране химически може да се извършва в газова среда.