Разработчици: съхранение и изчерпване

Aging разработчик (воден алкален разтвор) се дължи на абсорбция на СО2 от въздуха, при което се прояви скорост, например в стандартен разтвор на 1% КОН, пада. Поради това, разработчикът е подготвен трябва да се съхранява в плътно затворен съд. Разработчиците, които са оборудвани фоторезисти са буферни разтвори като разработчик-УПФ 1б. Това потиска намаляването на разработчик рН поради абсорбция на СО2 от въздуха, което позволява да се поддържа постоянна скорост на дисплея за дълго време.

Изчерпването на разработчика е не само вследствие на абсорбция на СО2 от въздуха, но също поради натрупването на разтваря в разработчика (проявление) на защитното покритие. Налице е просто правило, когато са разтворени в един литър на разработчика на един грам на противопоставят прояви попада до 10% и разработчик трябва да се промени. Таблица 1 показва ограничаване броя на плаките, което може да се прояви в един литър разработчик за фоторезисти и различни вафли диаметър марки. Когато разтваря в 1 литър разработчик приблизително 10 грама на скоростта на устои дисплей става нула.

Допустимото брой плочи, които може да се прояви в 1 литър разработчик.

Броят на плочи, парчета.

Диаметър вафли, mm

Концентрацията на разработчика и селективността

Съотношението на скоростта на разтваряне на експонирани и неоткритата фоторезист филм се нарича селективност прояви. Селективност прояви определя един от най-важните параметри на фоторезист - дисплея контраст. На свой ред контраста на дисплея, силно зависи от концентрацията на предприемача. Ето защо, като се използва 1В разработчик-УПФ при различни разреждания, можете да постигнете по-висок процент на дисплея на разумна контрастни изображения.

Температурна зависимост на скоростта зависи от наличието на активиращата енергия на дифузия на предприемача в устои филма и химически реакции, които участват в проявата. Препоръчително е да се запази постоянна температура при ниски температури е най-добре да се използва буфер 1B-УПФ разработчик.

дозовото натоварване и дисплея на скорост

Част от положителния фоторезист hinondiazid сулфонат инхибира разтваряне на филма в алкални разтвори с 1-2 порядъка. Обратно indenkarbonovaya фотореакция продукт киселина повишава скоростта на разтваряне на филма с приблизително същия размер.

За тънки слоеве (1-2 микрона фоторезист ОП-383) в светлината на експозиция прониква през цялата дебелина на филма, и след определен доза филм фоторезист се развива с висока скорост. Допълнително увеличение на дозата на облъчване, не оказва влияние върху скоростта на дисплея. Въпреки това, за по-дебели филми (FP-25 подложки, FP-201), ситуацията е съвсем различна. излагане на светлина не прониква в цялата дълбочина на филма. Има териториална доза експозиция, в която има постепенно обезцветяване на филма в диапазона на абсорбция на фотохимични реакции. До известна доза експозиция устои е невъзможно да се докаже на субстрата.

Universal буфер концентрира разработчик УПФ-1B

1. Тя се използва за показване на положителни фоторезисти на двете местни и вносни, като OP-383, OP-25, OP-9120, S1813, S1818, AZ и т.н.
2. Тя осигурява възпроизводими етап проява. Разкрива доза дефицит експозиция, например в резултат на влошаване на параметрите на ултравиолетова лампа.
3. Тя поддържа концентрацията на развитие на разтвор в процеса.
4. Тя осигурява подготовка готов за всеки един предприемач, необходими за операцията.
5. Тя работи добре при ниски температури от стандартните разработчици.
6. Не pereproyavlenie критични елементи на изображението.
7. Тя осигурява мека експресия, с гладки ръбове и остър картина.
8. Осигурява чистотата на прояви. Разработчикът-УПФ 1 се филтрира през филтър с размер на порите от 1 цт.
9. Той поддържа стабилността на нейните характеристики за една година.

1. Няма нужда да се закупи и съхранение на разяждащи и хигроскопични химически реагенти експонат.
2. Няма нужда от калибриране на тежести и титратор, наличието на пипети, бюрети, стандартни заглавия и др.
3. Developer УПФ-1, изготвен от професионални химици, тя е постоянно свеж през целия период на съхранение. Достатъчно е само с дестилирана или дейонизирана вода.

Проект на УПФ 1б е концентрат. За да работи разработчик трябва да се разреди с дестилирана или дейонизирана вода в съотношение, посочено в таблица 2.

Степента на разреждане на разработчика УПФ-1B за използване с положителен фоторезист.