Въведение за работа

Atualnost конци. Бързият напредък в съвременната микро- и наноелектрониката, е до голяма степен се дължи на въвеждането в производството на монокристални полупроводникови материали с висока степен на съвършенство. Известно е, по-специално, че размествания и границите на зърната на блоковете е намалена подвижност носител и намаляване на техния живот. Тези структурни дефекти са едновременно причина за брак и влошаване на параметрите и характеристиките на микроелектронни устройства. В тази връзка, един от най-важните задачи на структурни изследвания на единични кристали като цяло и в частност полупроводници остава възможно най-пълна откриване на дефекти в структурата си и определение на физическата природа. Вече Само поради тази причина развитието на методи за неразрушаващ изследвания на вътрешната структура на кристални предмети с все по-висока разделителна способност е много важно.

В момента получаване само двуизмерни карти на вътрешната структура на обекти вече не отговаря на изследователите. В много случаи е необходимо да се получи триизмерен модел обект, който описва не само разпределението на плътност (или плътността на рентгенови лъчи) в тестова проба, но също така и примеси, дефекти, включвания и т.н. Това е възможно, ако използваме техниката на компютърна томография. Този метод, както ще бъде показано по-късно, е лесна за изпълнение, има висока надеждност и е чувствителен към същия пряк и безразрушителен.

През последните години голяма част от изследванията по тази тема и разработването на подходящи процедури се извършват с помощта на радиационни. Това със сигурност осигурява печалба във времето и качеството на резултатите, но увеличава разходите и времето на приемането на подходящи технологични решения.

При тези обстоятелства, става изключително важно лабораторно изследване на възможността за използване на рентгенови източници за получаване на дефекти 3-D разпределение плътност и кристални.

Развитие на рентгенов microtomography и топо изображения с висока разделителна способност, насочени към определяне на

пространствената структура на кристална и некристална материал се използва лабораторни източници рентгенови. Научната новост на работата.

Първо демонстрира приложимостта на метода на рентгенова топографски изображения лаборатория източник.

Първо демонстрира възможността за използване на алгебрични метод реконструкция SART (Едновременно алгебрични възстановяване техника) за случай на паралелно светлина с наклона на оста на въртене за лечение топо-томографски eksprerimenta на.

Възстановяване проведе триизмерен разпределение на дефектен кристалната структура на синтетичен литиев флуорид кристал с резолюция

Чрез рентгенова томография и изображения Топо първата изследвана естествен диамант структура с резолюция от 1-20 микрона.

Пространствената структура на биологични обекти: зърно, ечемичен малц, както и опорно-двигателния апарат в областта на здравеопазването и гекони в условията на микрогравитация.

Практическото значение на работата.

безразрушителен контрол на микроелектрониката продукти със същата пространствена резолюция.

На отбраната са направени следните разпоредби:

Създаване на лаборатория рентгенова microtomography, което позволява да се изследва както некристални (органични) обекти и слабо-абсорбиращи кристали с резолюция до 1 микрон. Тази резолюция се постига чрез прилагане на чифт асиметрично скъсени отразяващи единични кристали.

Изпълнение на рентгенова топографски изображения лаборатория източник.

Възможност за използване на SART метод алгебрични реконструкция за случай на паралелно светлина с наклона на оста на въртене за лечение топо-томографски експеримента.

резултати за възстановяване на вътрешния триизмерната структура на редица слабо абсорбиращи кристали и биологични обекти.

Структурата и обхвата на тезата. Тезата се състои от въведение, три глави, заключение и библиография от 105 заглавия. обем теза е 132 страници текст, в това число 73 фигури и 3 таблици.

Подобна дисертация на абсорбция microtomography и топографски изобразяване на слабо абсорбиращи кристали с лабораторни източници рентгенови